冷凝泵的工作原理
其工作原理是抽氣原理
在低溫泵內設有由液氦或制冷機冷卻到極低溫度的冷板 ,它使氣體凝結,并保持凝結物的蒸汽壓力低于泵壓力的max,從而達到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。
(1)低溫冷凝:氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上,其平衡壓力基本上就等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時,冷板溫度要低于 25K;抽氫時,冷板溫度更低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達10毫米左右。
(2)低溫吸附:氣體分子以一個單分子層厚(10-8厘米數量級)被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上。吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多。如在20K時氫的蒸氣壓力等于大氣壓力,用20K的活性炭吸氫時吸附平衡壓力則低于10-8 帕。這樣就可能在較高溫度下通過低溫吸附來進行抽氣。
(3)低溫捕集:在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子,被不斷增長的可冷凝氣體層埋葬和吸附。
以上就是對冷凝泵工作原理的解釋哦。希望小編的整理能幫助到大家!
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